二、功能特点
● 高分辨率数字正交信号输出,分辨率达10nm(可外部拓展)。
● 高测量精度,线性测量精度达0.2~0.5ppm。
● 高稳频精度,可达0.02~0.05ppm。
● 测量范围大,最大量程可达4m(可拓展)。
● 激光发射装置与干涉探头分离,通过3m铠装光纤与电缆连接,可将激光尺主机远离被测量设备,便于安装,同时还可避免主机散热对测量通路的影响。
● 输出正交数字信号或1Vpp正余弦信号,可以适用于不同的控制器。
● 体积小巧,适合狭小空间安装,可最大限度降低阿贝误差。
● 即可作为激光干涉仪进行测量,也可用于闭环位置反馈控制。
● 多通道输出,可轻松实现多轴同时测量及多自由度测量。
● 环境补偿功能,一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数,实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响,保证测量的准确性。